• 什么叫光刻膠的正膠顯影和負膠顯影什么叫光刻膠的正膠顯影和負膠顯影正膠顯影：正性光刻膠的曝光區(qū)的光刻膠在顯影液中溶解，在光刻膠上形成三維圖形。?負膠顯影：在負性光刻膠的非曝光區(qū)的光刻膠在顯影液中溶...2022-10-18 08:22:43
• Microchem SU-8光刻膠 2000系列2140.5-6μm100ml;500ml;1L;1加侖AZ 50XT 正膠AZ 50XT40-80μm100ml;500ml;1夸脫AZ 9260...2024-03-28 10:07:48
• 光刻工藝中的顯影技術(shù)）的部分，從而在晶圓上得到所需的圖案。三、顯影技術(shù)的工作原理正性光刻膠當(dāng)正膠受到曝光時，光敏基團發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，會生成酸性基團，放出氮氣，酸性基團與...2025-06-09 09:41:00
• 微流控中的烘膠技術(shù)當(dāng)高的溶劑。而烘膠過程會進一步減少殘留溶劑的含量。當(dāng)溫度超過140℃時，正膠膜結(jié)構(gòu)交聯(lián)，光刻膠穩(wěn)定性提高，并且隨著烘烤進行，殘余溶劑含量進一步降低，...2025-01-07 10:20:54
• 光刻膠再吸水蝕對未暴露的光刻膠在橫向和縱向上也有一定的影響。?圖2 不同再吸水條件下正膠顯影狀態(tài)。襯底一側(cè)光刻膠顯影越充分，即再吸水越完全，光刻膠的側(cè)壁可能越陡...2024-07-29 10:02:11
• 光刻膠的一般特性介紹率，但是膠厚必須與光刻膠的選擇比或者lift-off層厚度加以綜合考慮。正膠的過曝過顯和負膠的過曝欠顯都會影響分辨率。烘烤溫度過高，使得光刻膠軟化流...2024-07-10 09:14:55
• 光刻膠的圖形反轉(zhuǎn)圖形反轉(zhuǎn)膠是比較常見的一種紫外光刻膠，它既可以當(dāng)正膠使用又可以作為負膠使用。相比而言，負膠工藝更被人們所熟知。本文重點介紹其負膠工藝。應(yīng)用領(lǐng)域在反轉(zhuǎn)工藝下，通過適當(dāng)?shù)墓に噮?shù)，可以獲得底切的側(cè)壁形...2024-07-09 09:32:09
• 光刻膠去膠工藝光刻膠去膠劑進行處理并且無殘留。如果去膠效果不良，應(yīng)考慮以下可能的原因:正膠在140℃左右開始熱交聯(lián)(例如在堅膜、干法刻蝕或涂膠階段)，這大大降低了...2024-07-05 09:43:47
• 微流控芯片一般光刻工藝過程足，由于膠薄膜中有太多的溶劑，在脫氣過程中導(dǎo)致氣泡的形成。“清零劑量”對正膠來說大面積曝光顯影一定時間后無結(jié)構(gòu)時對應(yīng)的曝光劑量。這個曝光劑量對于圖形...2024-07-04 09:13:40
• 光刻膠后烘技術(shù)工藝但是比較簡單，本文就以下一些應(yīng)用場景下介紹后烘的過程和作用。化學(xué)放大正膠機理當(dāng)使用“正常”正膠時，曝光完成后光反應(yīng)也就完成了，但是化學(xué)放大的光刻...2024-07-03 09:15:13