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紫外光刻機的工作條件

       紫外線光刻機是 印制板制造工藝中的重要設備。傳統光刻機的玻璃-邁拉曬架在生產過程中需要人工趕氣,邁拉膜需要經常更換。由于冷卻系統過于臃腫,使得其生產成本高、效率 低,已不能滿足PC B 生產的需要。在實驗基礎上設計了雙玻璃曬架光刻機,改進了其主要組成部分,包括曬架系統、光路系統、冷卻系統以及電氣和控制系統的整體設計。

       在計算機的控制下,利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光,受電子束輻照后的光刻膠,其物理化學性質發生變化,在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區域,從而在抗蝕劑上形成精細圖形。

 

       附:汶顥光刻機——http://www.zuzumean.com/product/product.php?search=search&lang=cn&class1=149&searchtype=0&content=%E5%85%89%E5%88%BB%E6%9C%BA


標簽:  紫外光刻機 工作條件 光刻機
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