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光刻基本操作步驟

一、認真核對隨工單:檢查隨工單上的工步與片子數是否與實際相符,如果正確,將其倒入黑盒中,用倒邊器檢查片子是否有崩邊,若有則查對隨工單上是否有標明,若無,退回上步工序。確定無誤后,按照隨工單上的要求制作。

二、光刻的主要步驟:

勻膠、前烘、曝光、顯影、顯影后檢查

勻膠

目的:在硅片表面均勻涂上一層厚度一定的光刻膠

準備工作:

①、泡膠嘴、擦膠嘴、走陪片

②、檢查膠瓶內光刻膠(膠液面距瓶底5厘米,及時更換新膠,并填寫“換膠記錄表”) 

③ 、按隨工單加工工步、勻膠程序 確定表,選擇正確的勻膠程序

光刻膠類型及加工類型

注意:在勻膠過程中,如發 生不明原因的報警應通知設備人員;停用5分鐘以上應先勻3個陪片,方可進行正式片的勻膠。

前烘

目的:將涂在硅片表面的膠內溶劑充分揮發,增強抗顯影能力

主要步驟:

①、將勻完膠的硅片從黑色的片架中倒入白色的四氟片架中

②、將硅片放入烘箱中,負膠烘15分鐘,正膠25分鐘

③、將烘好的硅片取出,倒入黑色聚乙烯片架中

注意:操作時必須帶上手套操作

曝光

目的:將掩膜版上的圖形復印到硅片上

主要步驟:

①、檢查光刻版:將光刻版放在UV燈下檢查,照射背面檢查是否有顆粒,若有用氮氣吹掉,切忌不要吹正面

②、裝版:將版盒打開,開口方向背對自己,將光刻版正面朝下,箭頭朝左下方,扣上版盒,準備曝光

③、上版與對版:

        RTLD〉RCHG/N

        FILE NAME = C:MK609-

        RETICLE NAME = M2

        EXECUTE?

   ④、 曝光操作:

        FEXP〉PRNT/IO             

PARAMETER CHECK COMPLETE (「Y」OR N)=_N_找到  EXP. TIME= 按“空格”修改曝光時間(見 “曝光時間確定表”)HOW MANY WAFERS = _1_待片子上到載片臺后,手動對準標記進行曝光,顯影,檢驗,確認無誤后,對硅片繼續進行曝光

曝光時間確定表

光刻膠曝光時間

顯影

目的:將未感光部分的負性光刻膠溶除,留下感光部分的膠膜;將感光部分的正性光刻膠 除,留下未感光部分的膠膜

注意事項:

①、檢查N2壓力不低于22PSI,真空壓力必須大于22或23Hg/cm2,顯影液壓力調制15PSI

②、檢查顯影液是否夠,若不夠,要及時添加

③、機器若出現故障,及時通知班長或技術員

光刻膠顯影

注意:氧化層光刻后帶膠注入的片子一定要走熱盤

顯影后檢查

目的:確定光刻膠成像情況及表面情況是否符合要求,以確定能否進行下道工序

基本步驟:

①、UV燈下檢查光刻膠是否有劃傷、沾污或覆蓋不完全的情況

②、顯微鏡下檢查是否沒有光刻膠圖形、重復曝光、浮膠、圖形 套偏(錯行,錯位)、接觸不良、曝光不適度、光刻膠覆蓋不完全、顯影不徹底、連條、沾污、缺口、毛刺等現象




標簽:   光刻技術
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