微流控芯片制作主要在超凈間(Clean Room)內完成。超凈間亦稱無塵室，是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害成分、細菌等污染物排除，并對室內溫度、照明、壓力、氣流分布、靜電等控制在某一需求范圍內而特別設計的房間。

超凈間除塵原理

芯片制作主要在超凈間(Clean Room)內完成。超凈間亦稱無塵室，是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害成分、細菌等污染物排除，并對室內溫度、照明、壓力、氣流分布、靜電等控制在某一需求范圍內而特別設計的房間。

超凈間等級

超凈間的等級主要依照每立方英尺內大于等于0.5?m顆粒的數量來區分。