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WH-XQY-01 自動噴淋顯影清洗一體機 -
WH-XQY-01 自動噴淋顯影清洗一體機
- 型號WH-XQY-01
- 模式自動噴淋顯影清洗設備
WH-XQY-01 臺式自動噴淋顯影設備可以對7英寸及以下基片進行程控式自動化顯影與清洗，最大轉速400RPM，最大液量500ml......
1. 產品簡介
顯影清洗一體機（WH-XQY-01）是汶顥股份自主開發的具有獨立知識產權的一款產品，針對光刻工藝中的顯影與清洗過程而設計開發的，可以進行程控式自動化顯影與清洗。該設備可完全替代微流控芯片制作過程中的手動顯影與清洗環節，克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時間不可控、同規格硅片間隔顯影效果不可控等缺點，最大程度上減少操作人員人為因素導致的顯影質量問題以及硅片的損壞。
2. 技術參數
轉速：0～3000 rpm
顯影液量控制：10～450 mL
清洗時間控制：0～999 s
適配硅片/芯片：≤7英寸
顯影時間控制：1～900 s
進液速度： 30～100%
電源輸入：AC220V±10V/50HZ
功率：250W
重量：20 kg
外形尺寸：510（W）* 450（D）* 350（H）mm
工作環境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %
3. 特征圖解
4.裝箱清單
名稱 | 單位 | 數量 |
顯影清洗一體機機體 | 臺 | 1 |
液體瓶 | 件 | 2 |
廢液瓶 | 件 | 1 |
無油真空泵 | 臺 | 1 |
吸附盤3寸（適用4、5、6寸硅片） | 件 | 1 |
吸附盤1寸、2寸、6寸 | 件 | 選配 |
?6氣管 | 米 | 3 |
電源線 | 根 | 1 |
使用手冊 | 件 | 1 |
質檢報告 | 件 | 1 |
合格證 | 件 | 1 |
保修卡 | 件 | 1 |
4.噴淋顯影清洗一體機使用視頻教程
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