1.什么是旋涂機？

用于旋涂的機器稱為旋涂機。旋轉(zhuǎn)涂敷儀(Spin Coater)，有許多名稱：甩膠機、涂膠機、勻膠機、涂層機、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等，主要應(yīng)用于溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

　　適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝，可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

旋轉(zhuǎn)涂布機是一種用于將膜施加到基材上的裝置。該系統(tǒng)將以各種速度旋轉(zhuǎn)基材，同時將涂料分配到其表面上。旋轉(zhuǎn)繼續(xù)進(jìn)行，同時流體從基板的邊緣旋轉(zhuǎn)，直到達(dá)到所需的薄膜厚度。

2.旋涂注意事項

在涂覆晶圓之前需要您注意以下幾點：

?環(huán)境條件，包括溫度，濕度，空氣中的微粒等。

?消耗品的質(zhì)量-您的化學(xué)物質(zhì)新鮮嗎？

?基材和設(shè)備的清潔度。受污染的基材從一開始會破壞您的工藝。

3.如何改善旋轉(zhuǎn)涂層？

正確居中的基材

準(zhǔn)確地將基材放在吸盤中心，以實現(xiàn)涂布一致性減少旋涂過程中的邊緣堆積。偏心的基材會引起振動和應(yīng)力，至少會影響您的涂層質(zhì)量，最壞的情況會導(dǎo)致基材破碎和旋涂機損壞。

靜態(tài)分配

大多數(shù)人采用靜態(tài)分配方法進(jìn)行旋涂。這是旋涂最簡單方法，需要您將化學(xué)物質(zhì)分配到固定的基材上。

分配化學(xué)物質(zhì)

使用移液器或注射器將化學(xué)物質(zhì)分配到基材的中心。通常應(yīng)分配材料覆蓋基材直徑的50％。

多余的材料被清除

經(jīng)過速度和加速度實現(xiàn)旋涂后，當(dāng)材料到達(dá)基板的邊緣時，進(jìn)一步的加速步驟將從晶圓上澆鑄多余的材料。

加速至最終旋轉(zhuǎn)速度

最后一步需要您的旋涂機快速加速到最終旋涂速度，以形成正確厚度的涂層。

去除邊珠

旋涂工藝可能會在基材邊緣留下材料堆積。最好在您的旋涂機中，在涂覆過程結(jié)束后立即去除晶圓上的邊緣珠。涂層固化后，將溶劑流引導(dǎo)至基材邊緣，同時低速旋轉(zhuǎn)。晶片繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，這使所有殘留的溶劑干燥。

4.影響旋涂產(chǎn)品質(zhì)量因素有哪些？

清潔基材

受污染的基材可能不會完全破壞您的涂層，但是為什么您要花時間和精力進(jìn)行從一開始就存在缺陷的旋涂工藝呢？

顆粒污染

清潔后，旋涂過程中可能會發(fā)生顆粒污染。

化學(xué)污染

殘留在晶圓上的化學(xué)污染會影響您的旋涂工藝，看不見的污染點產(chǎn)生的涂層空隙等問題。

清潔您的旋轉(zhuǎn)涂布機

如果希望獲得最佳的旋涂效果，則旋涂機應(yīng)該一塵不染。您的旋涂過程應(yīng)進(jìn)行優(yōu)化以使用最少的化學(xué)劑，并且旋涂機應(yīng)在每次操作結(jié)束時進(jìn)行清潔。